1984, 6(3): 247-249.
摘要:
正 (一)引言 非晶硅少子擴散長度對非晶硅太陽電池的性能有重要影響,它是表征非晶硅材料質(zhì)量的重要參數(shù)。最近Dresner和Moore分別用表面光電壓法(SPV法)測量非晶硅少于擴散長度獲得成功。但前者需要超高真空系統(tǒng),樣品表面要經(jīng)過濺射和退火,后者使用非晶硅液體肖特基勢壘,裝置較煩。我們試用頂層淀積了金屬鎳的非晶硅薄膜作樣品,利用鎳和非晶硅膜構(gòu)成的金屬肖特基勢壘進行表面光電壓測量,獲得成功。這樣