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用一維方法計算一些迴轉(zhuǎn)型靜電偏轉(zhuǎn)場問題

蔣欣榮

蔣欣榮. 用一維方法計算一些迴轉(zhuǎn)型靜電偏轉(zhuǎn)場問題[J]. 電子與信息學(xué)報, 1991, 13(1): 108-112.
引用本文: 蔣欣榮. 用一維方法計算一些迴轉(zhuǎn)型靜電偏轉(zhuǎn)場問題[J]. 電子與信息學(xué)報, 1991, 13(1): 108-112.
Jiang Xinrong. CALCULATION OF ROTATIONAL ELECTROSTATIC DEFLECTION FIELDS BY USING ONE-DIMENSIONAL METHOD[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1991, 13(1): 108-112.
Citation: Jiang Xinrong. CALCULATION OF ROTATIONAL ELECTROSTATIC DEFLECTION FIELDS BY USING ONE-DIMENSIONAL METHOD[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1991, 13(1): 108-112.

用一維方法計算一些迴轉(zhuǎn)型靜電偏轉(zhuǎn)場問題

CALCULATION OF ROTATIONAL ELECTROSTATIC DEFLECTION FIELDS BY USING ONE-DIMENSIONAL METHOD

  • 摘要: 本文介紹了將一些迴轉(zhuǎn)型靜電偏轉(zhuǎn)場問題歸結(jié)成圓筒模型,給出了用一維方法計算三維靜電偏轉(zhuǎn)場的方法,并解決了計算中比較棘手的奇點處理問題。實例計算表明,這種方法簡便、精確,具有較大的概括性和實用性。
  • 蔣欣榮,微細(xì)加工技術(shù),1987年,第3-4期,第14頁;或Jiang Xinrong, J. Vac. Sci.Tcchnol., B6 (1988),422.[2]蔣欣榮,那兆鳳,微細(xì)加工技術(shù),1986年,第2期,第6頁;或Jiang Xinrong, Na Zhaofeng, J. Vac. Sci. Tcchnol., B5(1987), 156.[3][3J E.Munro et al., Optik, 60(1982),1.[4]蔣欣榮,那兆鳳,電子學(xué)報,1987年,第6期,第98頁.
  • 加載中
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出版歷程
  • 收稿日期:  1989-04-03
  • 修回日期:  1989-09-10
  • 刊出日期:  1991-01-19

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