用一維方法計算一些迴轉(zhuǎn)型靜電偏轉(zhuǎn)場問題
CALCULATION OF ROTATIONAL ELECTROSTATIC DEFLECTION FIELDS BY USING ONE-DIMENSIONAL METHOD
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摘要: 本文介紹了將一些迴轉(zhuǎn)型靜電偏轉(zhuǎn)場問題歸結(jié)成圓筒模型,給出了用一維方法計算三維靜電偏轉(zhuǎn)場的方法,并解決了計算中比較棘手的奇點處理問題。實例計算表明,這種方法簡便、精確,具有較大的概括性和實用性。
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關(guān)鍵詞:
- 電子光學(xué); 迴轉(zhuǎn)型靜電偏轉(zhuǎn)場; 一維方法; 奇點
Abstract: Calculation of some rotational electostatic defflection fields by the use of one dimensional method is put forward, and the difficulty in singular point has been overcome. The calculation example shows that the method is simple and practical. -
蔣欣榮,微細(xì)加工技術(shù),1987年,第3-4期,第14頁;或Jiang Xinrong, J. Vac. Sci.Tcchnol., B6 (1988),422.[2]蔣欣榮,那兆鳳,微細(xì)加工技術(shù),1986年,第2期,第6頁;或Jiang Xinrong, Na Zhaofeng, J. Vac. Sci. Tcchnol., B5(1987), 156.[3][3J E.Munro et al., Optik, 60(1982),1.[4]蔣欣榮,那兆鳳,電子學(xué)報,1987年,第6期,第98頁. -
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