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摘要: 正 氧化鉛攝象管靶是一種有結(jié)光電導(dǎo)靶。為了保證靶的暗電流、靈敏度、分辨力等性能,這種靶應(yīng)具有P-I-N結(jié)構(gòu)。在靠近透明電極一面應(yīng)為很薄的N型區(qū);靶的主要部分應(yīng)為電阻率較高的本征層(Ⅰ層);而在鄰近自由表面處則應(yīng)該是很薄的P層。為了充分發(fā)揮有結(jié)光電導(dǎo)靶的性能,有必要直接觀察判斷P-I-N結(jié)。但是由于氧化鉛靶實際上是一個微晶組成的疏松層,所以觀察單晶半導(dǎo)體結(jié)的通常方法在這里已不適用。多年來未見有報道這方面的觀察結(jié)果,其原因或許就是直接觀察不容易。近年來,我們試用掃描電子顯