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陰極-敏感膜復(fù)合型真空微電子壓力傳感器研究

陶新昕,  夏善紅,  蘇杰,  陳紹鳳

陶新昕, 夏善紅, 蘇杰, 陳紹鳳. 陰極-敏感膜復(fù)合型真空微電子壓力傳感器研究[J]. 電子與信息學(xué)報(bào), 2001, 23(1): 81-84.
引用本文: 陶新昕, 夏善紅, 蘇杰, 陳紹鳳. 陰極-敏感膜復(fù)合型真空微電子壓力傳感器研究[J]. 電子與信息學(xué)報(bào), 2001, 23(1): 81-84.
Tao Xinxin, Xia Shanhong, Su Jie, Chen Shaofeng. RESEARCH ON CATHODE-ON-MEMBRANE VACUUM MICROELECTRONIC PRESSURE SENSOR[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 2001, 23(1): 81-84.
Citation: Tao Xinxin, Xia Shanhong, Su Jie, Chen Shaofeng. RESEARCH ON CATHODE-ON-MEMBRANE VACUUM MICROELECTRONIC PRESSURE SENSOR[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 2001, 23(1): 81-84.

陰極-敏感膜復(fù)合型真空微電子壓力傳感器研究

RESEARCH ON CATHODE-ON-MEMBRANE VACUUM MICROELECTRONIC PRESSURE SENSOR

  • 摘要: 該文提出了陰極-敏感薄膜復(fù)合結(jié)構(gòu)的新型真空微電子壓力傳感器,并研制出了陰極-敏感薄膜復(fù)合結(jié)構(gòu),對(duì)硅薄膜在外力作用下產(chǎn)生的形變及其應(yīng)力分布進(jìn)行了計(jì)算機(jī)模擬計(jì)算,并討論了薄膜結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)其敏感特性的影響。
    Abstract: This paper proposes a novel cathode-on-membrane vacuum microelectronic pressure sensor. The cathode-on-membrane structure has been fabricated. The properties of the silicon membrane under pressure are simulated, and the effects of the parameters of membrame structure on the sensitivity are discussed.
    • HTML全文
  • Jiang J C,White R C,Allen P K.Digest of technical papers of 1991 international conference on solid-state sensors and actuators: 238-240.[2]Xia S H,Liu J,Chen F C,Han J H,Cui D F.J.Vac.Sci.Technol,1997,B-15(4): 1573-1576.[3]陶新昕,夏善紅,陳紹鳳.中國(guó)電子學(xué)會(huì)真空電子學(xué)分會(huì)第十一屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集,北京:1997,335 337.[4]Xia S H,Liu J.J.Vac.Sci.Technol,1998,B-16(3): 1226-1232.
  • 加載中
計(jì)量
  • 文章訪問(wèn)數(shù):  1967
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  • 被引次數(shù): 0
出版歷程
  • 收稿日期:  1999-04-01
  • 修回日期:  1999-09-25
  • 刊出日期:  2001-01-19

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